真空镀膜机的前级管道有轻微漏气对抽真空会有多大的影响(

真空镀膜机的前级管道有轻微漏气对抽真空会有多大的影响? -
回答：影响不大，粗抽的时候可能会增加抽气时间，开了主泵之后只要维持泵够用，那么影响也不大。
真空度不同，需要用的真空泵就不一样。越高的真空度，需要有几级泵来实现。粗抽阀，是第一级泵（一般是旋片泵）与第二级泵之间的阀门，当管道压力达到二级泵开启的要求时，粗抽阀就可以打开。前级阀是统称，包括精抽阀等，其原理相似。